NECファシリティーズ、ルネサス西条工場における半導体廃水処理の環境負荷低減を目指した実証試験を実施
今回の実証試験は、半導体フッ素含有廃水処理における廃水処理薬剤および処理に伴って排出される廃水処理汚泥の削減を目的として行ったものです。
半導体の製造工程で大量に使用されるフッ素系薬液は、製造工程での使用後、厳しい工場廃水排出基準を満たすための薬剤処理を経て、最終的に汚泥という形で産業廃棄物として排出されます。
今般採用した廃水処理手法は、処理工程中のフロック間濁度並びにフッ素濃度を高精度かつ連続的に検知することにより、処理薬剤量の最適化かつ連続投入が可能となり、従来、工場廃水排出基準の超過を避けるために過剰に投入していた処理薬剤（注）を大幅に削減しつつ、薬剤量に応じて発生する汚泥量の削減にもつなげたものです。
NECファシリティーズは、ルネサス西条工場の環境負荷低減ニーズに対して、フッ素含有廃水処理施設における施策の企画・施工を経て半年にわたる運用実証試験を実施しました。その結果、薬剤自動注入システム（栗田工業製）によるフロック間濁度検知制御に、新たにフッ素濃度による制御ファクターを加えることでより最適な処理薬剤（注）の量的投入が可能となることを見出しました。
今般、３社が協力・連携することで半導体製造施設の廃水処理における処理薬剤（注）を従来比で35％、処理汚泥量を従来比で4％削減し、これらの運転コストを年間約3百万円の削減を実現しました。
本処理薬剤の削減は、環境負荷の低減、SDGsにおける「つくる責任、使う責任」、「気候変動への具体的な対策」、「海の豊かさ、陸の豊かさを守る」に寄与するものです。
今後、本環境負荷低減施策をルネサス西条工場におけるフッ素系廃水処理未導入エリアへの提案も進め、更なる環境負荷の低減をはかる計画です。
NECファシリティーズはお客様工場のライフサイクルマネジメント（Factory life cycle management）にTotal IFM で貢献し、総合的な課題解決を提供しています。
本施策はお客様工場施設における環境・エネルギー負荷低減の一翼を担うものであり、フッ素系以外の廃水処理への適用も視野に入れています。今後ルネサスグループの他工場や当社お客様工場施設への展開を狙い、持続可能な脱炭素社会の実現に貢献してまいります。
NECファシリティーズの持つ施設管理・建設・環境・不動産・保険の５つの事業のシナジーにより、製造業の工場を中心にお客さまの事業活動の「探す」「建てる」「使う」「守る」を提供。お客さまの工場ライフサイクルマネジメント（Factory life cycle management）に貢献し、お客様価値の最大化を推進します。
本リリースの詳細は下記をご参照ください。
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概要：日本電気株式会社（NEC)
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